・溶剤、酸、アルカリに対し優れた耐性を示します。
・パｰフロロエラストマｰより安価です。
・半導体、液晶製造装置のウエット部に適しています。
実績例
半導体、液晶製造装置
| ハイパｰゴム | 一般FKM | ||
| アセトン | △V% | 20.1 | ※ 262.2 |
| △W% | 7.5 | ※ 118.5 | |
| ジクロロメタン | △V% | 9.2 | 29.4 |
| △W% | 5.8 | 17.2 | |
| トルエン | △V% | 7.4 | 9.5 |
| △W% | 2.8 | 4.3 | |
| 酢酸ブチル | △V% | 16.8 | 364.7 |
| △W% | 7.1 | 161.5 | |
| t-ブチルメチル エｰテル |
△V% | 25.1 | 194.6 |
| △W% | 9.1 | 76.8 | |
| 2-アセトン-1- エキトシプロパン |
△V% | 6.0 | 291.7 |
| △W% | 2.8 | 148.5 | |
| メチルアルコｰル | △V% | 2.6 | 148.6 |
| △W% | 1.0 | 63.2 | |
| 氷酢酸 | △V% | 18.0 | 168.7 |
| △W% | 9.6 | 94.8 | |
| 水酸化ナトリウム （20%水溶液） |
△V% | 0.3 | ±0 |
| △W% | ±0 | -0.3 |
試験条件 室温504時間
※・・・168H
フッ素ゴムの架橋方法には、主にポリオｰル架橋 (フッ素ゴムの主流)、 パｰオキサイド架橋の2種類がありますが、下表のように一長一短があります。
| 長所 | 短所 | |
|---|---|---|
| ポリオｰル | 圧縮永久歪みに優る | 水蒸気で加水分解する |
| パｰオキサイド | 耐水、蒸気性に優る | 耐熱、圧縮永久歪みに劣る |
田崎アサヒが耐スチｰム仕様に開発したT77SA01はポリオｰル系の圧縮永久歪みと耐高温水蒸気性の両立しました。
実績例
半導体製造装置
| 耐スチｰム（T77SA1） | 一般FKM | ||
|---|---|---|---|
| 初期物性 |
|||
| 引張強さ(MPa) 伸び(%) 硬さ |
10.5 230 A69/S |
13.1 270 A70/S |
|
| 100℃1気圧下 水蒸気 |
120H経過時 | ||
| 引張強さ変化率(%) 伸び変化率(%) 硬さ変化 |
±0 +1.5 ±0 |
-20.5 +3.7 -4 |
|
| 240H経過時 | |||
| 引張強さ変化率(%) 伸び変化率(%) 硬さ変化 |
-3.5 +3.5 -2 |
-31.0 +15.5 -8 |
|
| 180℃ 水蒸気 |
1000H経過時 | ||
| 引張強さ変化率(%) 伸び変化率(%) 硬さ変化 |
-15 +8 |
-68 -25 |
|
| 圧縮永久歪率（%） 175°×22H | 4 | 7 | |